SJT 10583-1994气体质量流量控制器通用技术条件
|
ID： |
3ABFE92D7A2345A4894D89530B8137A1 |
|
文件大小(MB)： |
1.02 |
|
页数： |
16 |
|
文件格式： |
|
|
日期： |
2024-7-28 |
|
购买： |
文本摘录（文本识别可能有误，但文件阅览显示及打印正常，pdf文件可进行文字搜索定位）：
L 9,中华人民共和电子行业标准,SJ/T 10583-94,气体质量流量控制器通用技术条件,General specification for gas mass flow controller,1994-08-08 发布1994-12-01 实施,中华人民共和国电子工业部发布,中华人民共和国电子行业标准,气体质量流量控制器通用技术条件,SJ/T 10583-94,General specification for gas mass flow controller,1主题内容与适用范,本标准规定了气体质量流量控制器的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、,贮存,本标准适用于采用毛细管传热温差量热法原理进行测量的气体质量流量控制器(以下简,称控制器)。该控制器广泛应用于半导体集成电路工艺设备、光纤熔炼,以及化工、冶金、卫生等,部门,2引用椽准,GB 19I 包装储运图示标志,GB 6388 运输包装收发货标志,GB/T 13384 机电产品包装通用技术条件,SJ 37 电子工业专用设备型号命名方法,SJ/T 电子エ业专用设备可靠性指标验证考核试验方法,3术语、符号,3.1,3.2,F ?S (full scale)——满量程值,质量流量mass flow,单位时间内流过某截面的流体的质量数,气体质量流量用标准状态下的体积流量来表示。气体质量流量单位如下:,a.标准状态 ml/min(SCCM)；,b. 标准状态 !/min(SLM)0,标准状态规定为：,气体温度:0セ:,3.3,气 压:101325Pa.,流量范围ranges,同一型号控制器所包括的最小至最大的流量规格的范围。控制器的流量规格通常用它的,满量程值来表示,流量规格一般按 1、2、3、5 分档,如 10SCCM.20SCCM.3SLM.5SLM 等,中华人民共和国电子工业部1994丒08丒08批准1994-12-01 实施,SJ/T 10583-94,3. 4 准确度 accuracy,控制器满量程的流量示值与标准器测量的满量程实际值之差与满量程实际值相比的百分,比值,控制器的准确度仅指在标准标定条件下的流量标定的误差值,3. 5 线性 !inearity,量程内各点的实际流量值座标相对零到满流量程实际流量值座标连接直线的最大偏离程,度,用相对满量程的实际流量的偏差的百分比表示,3.6 重复精度 repeatability,在温度、气压等环境条件不变的情况下,控制器的同一示值的实测流量的升降变差相对满,量程实测流量的百分比值,3.7 响应时间response time,当设定值发生阶跃变化后,气体流量跟随设定值改变,通过一段时间后达到相对最后稳态,值的误差范围之内时,这段时间称为响应时间,响应时间分电特性和气特性,气特性又分为控制器局部气特性和大气容系统气特性两种,3' 8 工作压カ范围 operating pressure range,能保证控制器在全量程范围内正常稳定工作的最小到最大的入口气压（包括入口与出口,之间的气压降）,3丒 9 压カ系数 pressure coefficient,在流量示值不变的情况下,实际流量随工作气压变化的改变量相对标定的满量程实际流,量的百分数与气压改变量之比,3.10 漏气率 !eak integrity,单位时间内的氮气泄漏量,单位丒标准状态ml/s気（SCCSHe）,3.11 温度系数,3. 11. 1 零点温度系数 temperature coefficient on zero,在工作温度范围内,流量检测电压随温度改变的零点漂移量相对满量程流量检测电压的,百分数与变化温度差值之比,3丒11.2灵敏度温度系数temperature coefficient on span,在工作温度范围内,流量示值不变的情况下,满量程实际流量随温度改变而发生的变化量,相对温度变化前的满量程实际流量的百分数与变化温度差值之比.,3* 12 电压稳定性 voltage regulation,在控制器处于稳定的条件下,输岀的流量检测电压的变化量与满量程流量检测电压之百,分比,4产品分类,4.1按流量范围可分为四类:,小流量,小于等于5sLM；,中流量：1〇.30sLM；,中小流量:介于中丒小流量范围;,d.大流量:大于30SLMo,2 一,SJ/T 10583—94,2,4,2按控制阀的种类可分为四大类I,a,压电阀式;,b.热膨胀阀式,c.电磁调节阀式;,d.其它调节阀式（包括步进电机和伺服电机等）,4.3质量流量控制器的产品型号参照SJ 37命名,书写格式如下:,DO7一 口 □ □ □ □ / □□型,企业代号,A.Z改型特征（可省略）,01 .99 设计序号,控制阀种类门.压电阀,2 .热膨,胀阀⑶电磁调节阀出其它,流量范围分类1小流量”.中流,量⑶中小流量,4.大流量Q,部标分类代号,例，质量流量控制器DO7—33O1A/ZM型,5技术要求,5.1 一般要求,5.11,a.,b.,外观要求,外观应平整、光滑、无划痕和锈蚀现象,镀涂层不得脱落,5.12,a.,金属表面光洁ヨ,各种标记清晰无误,结构要求,结构合理,便于安装、拆卸和维修『,电路部分封闭隔离,防止环境腐蚀,5.1.3 外形尺寸,控制器的外形和接管尺寸应按附录A（补充件）规定的数据选择,5.2技术性能要求,5.2.1流量范E丒コ,流量范围按照3.3条和4.1条.,5.2-2准确度,根据不同精度要求选择如下指标:,a. ±1%F ?s；,b. ±2%F ?,5.2.3线性,S .,根据不同精度要求选择如下指标キ,a.,b.……
……